Sensor tekanan minangka salah sawijining sensor sing paling umum. Sensor tekanan tradisional utamane minangka piranti struktur mekanik, lan deformasi bagian elastis nuduhake tekanan. Nanging, amarga ukuran lan bobote, dheweke ora bisa ngasilake listrik.

Pangembangan teknologi semikonduktor uga ndadékaké munculé sensor tekanan semikonduktor. Iki ditondoi kanthi ukuran cilik, bobot entheng, presisi dhuwur lan kinerja suhu sing apik. Utamane kanthi pangembangan teknologi MEMS, sensor semikonduktor berkembang ing arah miniaturisasi, konsumsi daya sing kurang lan keandalan sing dhuwur.

Peranan sensor tekanan

1. Langsung digunakake kanggo ngukur tekanan sing beda-beda: tekanan udara, tekanan hidrolik, tekanan hidrolik (kalebu tekanan hidrolik), tekanan getih sing beda-beda ing urip saben dina, lan liya-liyane;

2. Sensor tekanan digunakake ing mobil, sawetara motor elit lan meh kabeh mesin pembakaran internal;

3. Tingkat Cairan: Peralatan lapangan sing digunakake kanggo macem-macem pangukuran tingkat cairan utamane sensor tekanan;

4. Sebagéyan gedhé sinyal timbangan elektronik lan sinyal timbangan kendaraan asalé saka sensor tekanan.

Sensor tekanan utamane digunakake kanggo ngontrol lan ngawasi aplikasi tartamtu. Ing industri otomotif, sensor tekanan MEMS utamane digunakake kanggo ngukur tekanan bahan bakar, tekanan ban, tekanan airbag, lan tekanan pipa. Ing lapangan biomedis, sensor tekanan MEMS utamane digunakake ing sistem diagnostik lan deteksi; Ing industri aerospace, sensor tekanan MEMS utamane digunakake kanggo ngontrol posisi pesawat ruang angkasa lan pesawat ruang angkasa;