Ditrapake kanggo Sensor Tekanan Bahan Bakar Umum 06E906051K

1. Cara kanggo mbentuk sensor tekanan, compruising:

Nyedhiyakake substrat semikonduktor, ing endi lapisan dielektrik pisanan, lapisan dielektrik asli lan lapisan dielektrik sing kapindho dibentuk ing landasan semikonduktor.

Piring elektroda sing luwih murah ing lapisan dielektrik asli pisanan, elektroda bebarengan sing sepisanan ing lapisan sing padha karo piring electrodle ngisor lan dipotong.

Nyambungake lapisan;

Mbentuk lapisan pengorbanan ing ndhuwur piring kutub ngisor;

Mbentuk piring elektroda ndhuwur ing lapisan dielektrik interlayer pisanan, lapisan sambungan interlayer pisanan lan lapisan sambungan pisanan lan lapisan korban;

Sawise mbentuk lapisan pengurbanan lan sadurunge mbentuk piring ndhuwur, ing lapisan sambungan pisanan

Mbentuk alur sambungan, lan ngisi alur sambungan kanthi piring ndhuwur kanggo nyambungake kanthi legenda kanthi lapisan sinkconnection pisanan; Utawa,

Sawise nggawe piring elektroda ndhuwur, sambungan alur sing disambungake ing piring elektroda lan lapisan sambungan pisanan, sing

Mbentuk lapisan konduktivitas sing nyambungake piring elektroda ndhuwur lan lapisan sambungan pisanan ing alur sambungan;

Sawise nyambungake kanthi listrik kanthi listrik ing piring ndhuwur lan lapisan sambungan pisanan, mbusak lapisan pengurangan kanggo mbentuk rongga.

2. Cara kanggo mbentuk sensor tekanan miturut pratelan 1, ing endi lapisan pisanan

Cara kanggo mbentuk lapisan pengorbrasi ing lapisan dielektrik interlayer ngemot langkah-langkah ing ngisor iki:

Nyelehake lapisan materian bahan ing lapisan dieleklektrik pisanan;

Potret lapisan bahan pengurbanan kanggo nggawe lapisan pengorbrasi.

3 .. Cara kanggo mbentuk sensor tekanan miturut pratelan 2, ing endi micampilan lan ukiran digunakake.

Lapisan bahan bakar dioreksi dibangun kanthi proses etching.

4. Cara kanggo mbentuk sensor tekanan miturut pratelan 3, ing endi lapisan pengorbanan

Bahan kasebut yaiku karbon amorphous utawa germanium.

5. Cara kanggo mbentuk sensor tekanan miturut pratelan 4, ing endi lapisan pengorbanan

Bahan kasebut yaiku karbon amorphous;

Etching gas sing digunakake ing proses etching lapisan bahan korban kalebu o2, co, n2 lan ar;

Parameter ing proses etching lapisan bahan pengurbanan yaiku: aliran o2 O2 yaiku 18 sccm, lan tingkat aliran co 10%.

Tingkat aliran kismatan saka 90 sccm nganti 110 sccf, tarif aliran N2 udakara 90 sccm nganti 110 sccf, lan tingkat aliran ar.

Range 90 sccm ~ 110 sccf, sawetara tekanan 90 motor ~ 110 motor, lan kakuwatan bias yaiku

540W ~ 660W.