Ditrapake kanggo sensor tekanan rel umum bahan bakar Passat 06E906051K

1. Cara kanggo mbentuk sensor tekanan, kalebu:

Nyedhiyakake substrat semikonduktor, ing ngendi lapisan dielektrik interlayer pisanan, lapisan dielektrik interlayer pisanan lan lapisan dielektrik interlayer kapindho dibentuk ing substrat semikonduktor.

Plat elektroda ngisor ing lapisan dielektrik interlayer pisanan, elektroda bebarengan pisanan dumunung ing lapisan sing padha karo piring elektroda ngisor lan jarake.

Nyambungake lapisan;

Mbentuk lapisan kurban ing ndhuwur piring polar ngisor;

Mbentuk piring elektroda ndhuwur ing lapisan dielektrik interlayer pisanan, lapisan interconnection pisanan lan lapisan kurban;

Sawise mbentuk lapisan kurban lan sadurunge mbentuk piring ndhuwur, ing lapisan interconnection pisanan

Mbentuk alur sambungan, lan ngisi alur sambungan karo piring ndhuwur kanggo listrik nyambungake karo lapisan interconnection pisanan; utawa,

Sawise mbentuk piring elektroda ndhuwur, alur nyambungake kawangun ing piring elektroda ndhuwur lan lapisan interconnection pisanan, kang

Mbentuk lapisan konduktif nyambungake piring elektroda ndhuwur lan lapisan interconnection pisanan ing alur sambungan;

Sawise listrik nyambungake piring ndhuwur lan lapisan interconnection pisanan, njabut lapisan kurban kanggo mbentuk growong a.

2. Cara kanggo mbentuk sensor meksa miturut pratelan 1, endi ing lapisan pisanan

Cara kanggo mbentuk lapisan kurban ing lapisan dielektrik interlayer kalebu langkah-langkah ing ngisor iki:

Nyimpen lapisan materi kurban ing lapisan dielektrik interlayer pisanan;

Pola lapisan materi kurban kanggo mbentuk lapisan kurban.

3. Cara kanggo mbentuk sensor tekanan miturut pratelan 2, ing ngendi photolithography lan engraving digunakake.

Lapisan materi kurban dipola kanthi proses etsa.

4. Cara kanggo mbentuk sensor meksa miturut pratelan 3, endi lapisan kurban

Bahan kasebut yaiku karbon amorf utawa germanium.

5. Cara kanggo mbentuk sensor meksa miturut pratelan 4, endi lapisan kurban

Materi kasebut yaiku karbon amorf;

Gas etsa sing digunakake ing proses etsa lapisan materi kurban kalebu O2, CO, N2 lan Ar;

Parameter ing proses etsa lapisan materi kurban yaiku: sawetara aliran O2 yaiku 18 SCCM ~ 22 SCCM, lan tingkat aliran CO yaiku 10%.

Tingkat aliran antara 90 SCCM nganti 110 SCCM, tingkat aliran N2 antara 90 SCCM nganti 110 SCCM, lan tingkat aliran Ar.

Kisaran 90 SCCM ~ 110 SCCM, kisaran tekanan 90 mtor ~ 110 mtor, lan daya bias

540w~660w.