Sensor meksa semikonduktor bisa dipérang dadi rong kategori, siji adhedhasar prinsip sing kalebu karakteristik semikonduktor pn Junctiononduktor PN Junction (utawa sartis). Kinerja unsur sensitif tekanan iki ora stabil lan durung dikembangake kanthi akeh. Liyane yaiku sensor adhedhasar efek semikonduktor piezonondortor, yaiku macem-macem sensor tekanan semikonduktor utama. Ing dina awal, garansi semikonduktor biasane dipasang ing unsur elastis kanggo nggawe macem-macem stres lan saring ngukur instrumen. Ing taun 1960, kanthi pangembangan teknologi sirkuit integrasi integrasi, sensor meksa semikonduktor kanthi resistor penyebaran minangka unsur piezoresistive muncul. Sensor tekanan kaya iki nduweni struktur sing gampang lan dipercaya, ora ana bagean obah sing gegandhengan, lan unsur sensitif tekanan lan unsur sensitif tekanan sensor, sing ngucapake lan ningkatake kinerja sensor.

Efek paizoresistive Semikonduktor duwe ciri sing ana gandhengane karo kekuwatan eksternal, yaiku resmivitas (diwakili Simbol ρ) ganti karo stres, sing diarani efek piezoresistive. Pangowahan tahanan relatif saka tumindak stres unit diarani koefisien piezoresistive, sing dituduhake dening simbol π. Ditulis matematika minangka ρ / ρ = σ.

Ing ngendi σ nggantosi stres. Owah-owahan nilai tahan (R / R) sing disebabake dening ketahanan semikonduktor ing stres utamane ditemtokake dening owah-owahan resistensi, saengga ekspresi efek pizoresisis uga bisa ditulis minangka r / r = πσ.

Ing tumindak kekuwatan eksternal, stres tartamtu (σ) lan ketegangan (ε) digawe ing kristal semikonduktor, lan hubungan antara wong-wong mau ditemtokake dening modulus (y) Muda, yaiku Y = σ / σ / σ / / ε ε.

Yen efek pizoresistive diwartakake dening saring ing semikonduktor, iku r / r = g a.

G diarani sensor sensor tekanan sensor, sing nggambarake nilai resistensi relatif ing ketegangan unit.

Faktor keuangan paizoresis yaiku parameter fisik piezoresisistik dhasar piezoresis. Hubungane antara wong-wong mau, kaya hubungan antara stres lan ketegangan, ditemtokake dening modulus materi, yaiku G = π y.

Amarga anisotropy kristal semikonduktor ing kelenturan, modulus lan owah-owahan kofisi paizoresisistive kanthi orientasi kristal. Efek semikoresisistik actholoresisistic uga ana gandhengane karo resmivitas saka semikonduktor. Suda resmitivity, sing luwih cilik faktor sensitivitas. Efek piezoresistive resistensi penyebaran ditemtokake dening orientasi kristal lan konsentrasi resistensi penyebaran. Konsentrasi sing ora jelas utamane nuduhake konsentrasi impaman saka lapisan panyebaran.