Sensor tekanan semikonduktor bisa dipérang dadi rong kategori, siji adhedhasar prinsip sing karakteristik I-υ saka semikonduktor PN junction (utawa schottky junction) diganti ing kaku.Kinerja unsur sensitif tekanan iki ora stabil lan durung dikembangake.Sing liyane yaiku sensor adhedhasar efek piezoresistif semikonduktor, yaiku macem-macem sensor tekanan semikonduktor.Ing wiwitan, pengukur regangan semikonduktor biasane dipasang ing unsur elastis kanggo nggawe macem-macem alat ukur tekanan lan regangan.Ing taun 1960-an, kanthi pangembangan teknologi sirkuit terpadu semikonduktor, sensor tekanan semikonduktor kanthi resistor difusi minangka unsur piezoresistif muncul.Sensor tekanan jenis iki nduweni struktur sing prasaja lan dipercaya, ora ana bagean obah sing relatif, lan unsur sensitif tekanan lan unsur elastis sensor digabungake, sing ngindhari lag mekanik lan penjilat lan nambah kinerja sensor.

Efek piezoresistif saka semikonduktor Semikonduktor nduweni karakteristik sing ana hubungane karo gaya eksternal, yaiku, resistivity (diwakili dening simbol ρ) owah-owahan karo stres sing ditanggung, sing diarani efek piezoresistif.Owah-owahan relatif saka resistivitas ing tumindak stress unit disebut koefisien piezoresistive, kang ditulis dening simbol π.Ditulis kanthi matematis minangka ρ/ρ = π σ.

Ing ngendi σ nggambarake stres.Owah-owahan nilai resistansi (R/R) sing disebabake dening resistensi semikonduktor ing stres utamane ditemtokake dening owah-owahan resistivitas, saengga ekspresi efek piezoresistif uga bisa ditulis minangka R/R=πσ.

Ing tumindak gaya njaba, kaku tartamtu (σ) lan regangan (ε) diasilake ing kristal semikonduktor, lan hubungan antarane wong-wong mau ditemtokake dening modulus Young (Y) saka materi, yaiku, Y = σ / ε.

Yen efek piezoresistif dituduhake dening regangan ing semikonduktor, iku R / R = Gε.

G diarani faktor sensitivitas sensor tekanan, sing nuduhake owah-owahan relatif saka nilai resistance ing unit strain.

Koefisien piezoresistif utawa faktor sensitivitas minangka parameter fisik dhasar efek piezoresistif semikonduktor.Hubungane antarane wong-wong mau, kaya hubungan antara stres lan regangan, ditemtokake dening modulus Young materi, yaiku, g = π y.

Amarga anisotropi kristal semikonduktor ing elastisitas, modulus Young lan koefisien piezoresistif owah kanthi orientasi kristal.Gedhene efek piezoresistif semikonduktor uga raket banget karo resistivitas semikonduktor.Sing luwih murah resistivity, sing luwih cilik faktor sensitivitas.Efek piezoresistif saka resistance difusi ditemtokake dening orientasi kristal lan konsentrasi impurity saka resistance difusi.Konsentrasi impurity utamane nuduhake konsentrasi impurity permukaan lapisan difusi.