Struktur sensor pizosoristif

Ing sensor iki, resistor resistor terintegrasi diafragma silikon monocrystalline kanthi proses integrasi paizon paizoresistive, lan pinggiran chip iki tetep dibungkus ing cangkang, lan timbal elektroda dipimpin. Sensor tekanan paizoresistive, uga dikenal minangka sensor tekanan negara, beda karo topies lega-strain, sing kudu ngrasakake kekuwatan eksternal kanthi ora langsung liwat unsur sensitif sing elastis, nanging langsung ngrasa tekanan sing diukur liwat diafron sing diukur liwat silikon diafragma.

Siji sisih diafragma silikon minangka rongga tekanan tinggi sing diukur kanthi tekanan sing diukur, lan sisih liyane yaiku rongga tekanan sing kurang tekanan komunikasi karo swasana. Umumé, diafragma silikon dirancang minangka bunder kanthi perhiasan tetep, lan rasiam diameteripun udakara udakara 20 ~ 60.

Kajaba iku, ana uga diafragma alun diafragma lan silikon silikon. Sensor bentuke silikon uga digawe saka tahan sing ditahan kanthi arah tartamtu saka pesawat kristal silinder silicon, lan loro tahan tahan stres stres lan loro jalur tahan stres sing kompresif dadi jembatan lengkap.

Sensor piezoresistif yaiku piranti sing digawe saka macem-macem materi semikonduktor miturut efek piemoresistive saka bahan semikonduktor. Substrat bisa digunakake langsung minangka sensor ukuran sing ukurane, lan resistensi penyebaran wis nyambung ing landasan ing bentuk jembatan.

Yen substrat cacat karo kekuwatan eksternal, nilai-nilai resistansi bakal ganti lan jembatan bakal ngasilake output sing ora seimbang. Substrat (utawa diafragma) digunakake minangka sensor pizoresistif yaiku silikon wafers lan wafers germanium. Sensor silikon pizoresistif digawe saka wafers silikon minangka bahan sing luwih narik kawigaten, utamane sensor piezoresistive sing kuat kanggo meksa lan kacepetan sing paling akeh digunakake.