Struktur Sensor Piezoresistive

Ing sensor iki, Strip resistor digabungake ing diafragma silikon monocrystalline kanthi proses integrasi kanggo nggawe chip piezoresistive silikon, lan pinggiran chip iki tetep rangkep ing cangkang, lan elektroda mimpin metu. Sensor tekanan piezoresistive, uga dikenal minangka sensor tekanan negara padhet, beda karo pengukur galur adesif, sing kudu ngrasakake gaya eksternal kanthi ora langsung liwat unsur sensitif elastis, nanging langsung ngrasa tekanan sing diukur liwat diaphragm silikon.

Siji sisih diafragma silikon minangka rongga tekanan dhuwur sing komunikasi karo tekanan sing diukur, lan sisih liyane yaiku rongga tekanan rendah sing komunikasi karo atmosfer. Umumé, diaphragm silikon dirancang minangka bunder karo periphery tetep, lan rasio diameteripun kanggo kekandelan kira-kira 20 ~ 60. Four P ngudani resistance najis nyebar sacara lokal ing diaphragm silikon bunder lan disambungake menyang jembatan lengkap, loro kang. ana ing zona stres tekan lan loro liyane ana ing zona stres tarik, sing simetris karo pusat diafragma.

Kajaba iku, ana uga diafragma silikon persegi lan sensor kolom silikon. Sensor silinder silinder uga digawe saka jalur resistif kanthi difusi ing arah tartamtu saka bidang kristal silinder silinder, lan rong jalur resistif tegangan tensile lan rong jalur resistif stres compressive mbentuk jembatan lengkap.

Sensor piezoresistif yaiku piranti sing digawe kanthi resistensi difusi ing substrat bahan semikonduktor miturut efek piezoresistif bahan semikonduktor. Substrat kasebut bisa langsung digunakake minangka sensor pangukuran, lan resistensi difusi disambungake ing substrat ing wangun jembatan.

Nalika landasan wis deformed dening pasukan external, Nilai resistance bakal ngganti lan jembatan bakal gawé output unbalanced cocog. Substrat (utawa diafragma) sing digunakake minangka sensor piezoresistif utamane wafer silikon lan wafer germanium. Sensor piezoresistif silikon sing digawe saka wafer silikon minangka bahan sensitif wis narik kawigaten liyane, utamane sensor piezoresistive solid-state kanggo ngukur tekanan lan kacepetan sing paling akeh digunakake.