Sensor tekanan semikonduktor sing umum digunakake nggunakake wafer silikon tipe N minangka substrate. Kaping pisanan, wafer silikon digawe dadi bagean bantalan stres elastis kanthi geometri tartamtu. Ing bagean kaku-prewangan wafer silikon, papat resistor difusi P-jinis digawe bebarengan arah kristal beda, lan banjur jembatan Wheatstone papat lengen kawangun karo papat resistor iki. Ing tumindak pasukan eksternal, owah-owahan nilai resistensi dadi sinyal listrik. Jembatan wheatstone iki kanthi efek tekanan yaiku jantung sensor tekanan, sing biasane disebut jembatan piezoresistive (kaya sing ditampilake ing Gambar 1). Karakteristik jembatan piezoresistif yaiku: ① nilai resistensi saka papat lengen jembatan padha (kabeh r0); ② Efek piezoresistive saka lengen jejer jembatan padha karo nilai lan ngelawan ing tandha; ③ Koefisien suhu resistance saka papat lengen jembatan padha, lan padha tansah ing suhu padha. Ing anjir. 1, R0 punika Nilai resistance tanpa kaku ing suhu kamar; RT yaiku owah-owahan sing disebabake dening koefisien suhu tahan (α) nalika owah-owahan suhu; Υ Rδ yaiku owah-owahan resistensi sing disebabake dening regangan (ε); Tegangan output jembatan yaiku u = I0 Δ Rδ = I0RGδ (jembatan sumber arus konstan).

Ing ngendi I0 minangka sumber arus konstan lan e yaiku tegangan sumber tegangan konstan. Tegangan output saka jembatan piezoresistive langsung ceceg karo galur (ε) lan ora ana hubungane karo RT disebabake koefisien suhu saka resistance, kang nemen nyuda drift suhu sensor. Sensor tekanan semikonduktor sing paling akeh digunakake yaiku sensor kanggo ndeteksi tekanan cairan. Struktur utamane yaiku kapsul sing digawe saka silikon monocrystalline (kaya sing ditampilake ing Gambar 2). Diafragma digawe dadi cangkir, lan bagian ngisor cangkir yaiku bagean sing nduwe gaya njaba, lan jembatan tekanan digawe ing ngisor cangkir. Pedestal ring digawe saka bahan kristal tunggal silikon sing padha, banjur diafragma diikat menyang pedestal. Sensor tekanan jenis iki nduweni kaluwihan sensitivitas dhuwur, volume cilik lan soliditas, lan wis akeh digunakake ing penerbangan, navigasi ruang, instrumen otomatis lan instrumen medis.