Cocog kanggo sensor tekanan minyak Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Empat teknologi tekanan sensor tekanan

1. Kapasitif

sensor meksa kapasitif biasane di senengi dening nomer akeh aplikasi profesional OEM. Ndeteksi owah-owahan kapasitansi ing antarane rong permukaan ngidini sensor iki ngerteni tekanan lan tingkat vakum sing sithik banget. Ing konfigurasi sensor khas kita, omah kompak kasusun saka rong permukaan logam sing cedhak, paralel lan terisolasi kanthi listrik, salah sijine yaiku diafragma sing bisa mlengkung rada ing tekanan. Iki lumahing tetep mantep (utawa piring) sing dipasang supaya mlengkung saka Déwan ngganti longkangan antarane wong-wong mau (bener mbentuk kapasitor variabel). Owah-owahan asil dideteksi dening sirkuit komparator linear sensitif karo (utawa ASIC), kang amplifies lan output sinyal tingkat dhuwur proporsional.

2. Tipe CVD

deposisi uap kimia (utawa "CVD") cara manufaktur ikatan lapisan polysilicon kanggo diafragma stainless steel ing tingkat molekul, saéngga mrodhuksi sensor karo kinerja drift long-term banget. Cara manufaktur semikonduktor pangolahan batch umum digunakake kanggo nggawe jembatan pengukur galur polysilicon kanthi kinerja sing apik kanthi rega sing cukup. Struktur CVD nduweni kinerja biaya sing apik lan minangka sensor sing paling populer ing aplikasi OEM.

3. Sputtering jinis film

Deposition film sputtering (utawa "film") bisa nggawe sensor karo linearity gabungan maksimum, hysteresis lan repeatability. Akurasi bisa nganti 0,08% saka skala lengkap, dene drift jangka panjang kurang saka 0,06% saka skala lengkap saben taun. Kinerja luar biasa saka instrumen kunci-sensor film tipis sputtered kita minangka bandha ing industri sensor tekanan.

4. Tipe MMS

Sensor iki nggunakake mikro-mesin silikon (MMS) diaphragm kanggo ndeteksi owah-owahan tekanan. Diaphragm silikon diisolasi saka medium dening 316SS sing diisi minyak, lan reaksi kasebut kanthi seri kanthi tekanan cairan proses. Sensor MMS nggunakake teknologi manufaktur semikonduktor umum, sing bisa entuk resistensi tegangan dhuwur, linearitas sing apik, kinerja kejut termal sing apik lan stabilitas ing paket sensor kompak.